伺服行星減速機的精度是減速機的一個重要參數，精度的別稱還有回程間隙/背隙。
　　回程間隙是指齒輪與齒輪之間的間隙，回程間隙是行星減速機的性能參數，一般回程間隙越低，行星減速機的傳動精度越高，而且行星減速機價格也越貴、其傳動效率越高?；爻涕g隙的單位是arcmin，一般稱低于3的稱為高精度型，15以上為低精度型。

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